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日本filmetrics對準(zhǔn)自動膜厚測量系統(tǒng)F60 F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高duan機型，具有缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制。 只需將樣品放在載物臺上，然后單擊測量按鈕即可自動執(zhí)行對齊、基線和膜厚映射。

日本filmetrics自動膜厚測量系統(tǒng)F50 F50自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能與自動高速載物臺相結(jié)合的系統(tǒng)。 以過去無法想象的速度測量點的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測量點。

日本filmetrics臺式膜厚測量系統(tǒng)F3-CS F3-CS是測量小樣品的最佳測量系統(tǒng)。與測量臺集成的測量系統(tǒng)使其易于攜帶。 只需將樣品的測量面朝下放置在載物臺上即可進行測量，約1秒即可測量出膜厚和折射率。

日本filmetrics板厚測量系統(tǒng)F3-sX 可以高精度測量硅基板和玻璃基板的厚度。 通過安裝最初開發(fā)的具有高波長分辨率的光譜儀，可以測量高達 3 mm 的厚膜。

日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度測量系統(tǒng)F10-RT F10-RT 是一款集成了測量單元和測量臺的緊湊型臺式測量系統(tǒng)。可同時測量反射率和透射率，并可輕松分析膜厚、折射率和消光系數(shù)。 只需一根 USB 線和電源線即可輕松連接，無需調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)，無需復(fù)雜的設(shè)置，而且設(shè)置非常簡單。