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哈司特鎳合金壓力傳送器

哈司特鎳合金壓力傳送器

產(chǎn)品型號: PC-600系列

所屬分類:壓力傳感器

產(chǎn)品時間:2024-09-10

簡要描述:日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

詳細說明:

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

半導體設備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應,形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

 

  • 高耐腐蝕性
    對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體,氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®,并進行了電解研磨處理,充分發(fā)揮了其出色的耐腐蝕性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直線性、滯后性、重復精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25%,具備高精度和高可靠性。
  • 測定范圍寬
    表壓的壓力范圍從0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),絕對壓的壓力范圍為0~2,586torr。
  • 使用壽命長
    各測量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測試。
  • 輸出
    輸出可以選擇4~20mA或0~5V,可以連接各種數(shù)字式面板儀表和可編程邏輯控制器。

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

規(guī)格

 

型號 表壓※絕對壓
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
壓力范圍KPa0~172.40~344.70~689.50~1,378.90~3,447.30~20,6840~103.40~172.40~344.7
kgf/cm20~1.760~3.520~7.030~14.060~35.160~210.9---
torr------0~7760~1,2930~2,586
精度(% 全量程)±0.5%±0.25%±0.5%

 

※可選項:表壓類型的輸出基準可以為真空(-100KPa)。(訂購時需要指ding)

 

過載壓力全量程×2
保存溫度范圍-40℃ ~ 85℃ (未通電)
溫度補償范圍0℃ ~ 70℃
溫度漂移±0.05% FS/℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
氣體(液體)接觸部分哈司特鎳合金®
連接零件1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它

 

型號604605
激勵電源電壓DC 12~26VDC 12~26V
信號輸出4~20mA0~5V
跨度16mA±0.16mA5V±0.5V
偏移量4mA±0.4mA0V±0.1V


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