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日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)

產(chǎn)品型號(hào): FUD-1 Model-53

所屬分類:

產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-05

簡(jiǎn)要描述:日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53
產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢(shì)(例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量)的同時(shí),還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。

詳細(xì)說(shuō)明:

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

 

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢(shì)(例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量)的同時(shí),還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。

多組分濃度計(jì)的特點(diǎn)

可以實(shí)時(shí)完成3個(gè)組件的2個(gè)組件密度計(jì)側(cè)

  • 標(biāo)配模擬DC 4-20mA(2線)和數(shù)字RS232C
  • 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出
  • 配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
  • 由于潤(rùn)濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計(jì),因此對(duì)化學(xué)藥品沒(méi)有影響。
 

值得

  • 可以高精度連續(xù)測(cè)量
  • 免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
  • 易于安裝,因?yàn)樵诎惭b過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調(diào)整
  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程

 

用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制
  • 清洗過(guò)程中清洗液的濃度控制(HF + HNO3 ? HF + H2SiF6等)
  • 控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻溶液濃度(TMAH +抗蝕劑,TMAH + Si等)
  

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

規(guī)范

模型FUD-1 53型
 轉(zhuǎn)換器
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度,溫度,電導(dǎo)率
顯示LCD(密度1,密度2,溫度,聲速,電導(dǎo)率/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC 4?20mA:2個(gè)系統(tǒng)(可自由設(shè)定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度1,濃度2,聲速,溫度,電導(dǎo)率,錯(cuò)誤代碼)
報(bào)警上下限測(cè)量錯(cuò)誤:2個(gè)系統(tǒng)
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
施工面板安裝類型(符合DIN標(biāo)準(zhǔn))
環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0-50°攝氏度
RH85%以下(無(wú)凝結(jié))
功能輸出范圍設(shè)定功能,警報(bào)輸出設(shè)定功能,濃度顯示移動(dòng)平均值功能,濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能,自診斷功能,故障保險(xiǎn)功能,異常值取消功能,溫度時(shí)間常數(shù)校正
選項(xiàng)溫度輸出(DC4?20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
通道(校準(zhǔn)曲線)高達(dá)7ch
合適的發(fā)射器示例SA-20S29 +電導(dǎo)率儀,SA-20S27 +電導(dǎo)率儀

 

 模型 發(fā)射機(jī)
SA-20S29 +電導(dǎo)率儀SA-20S27 +電導(dǎo)率儀
 震動(dòng)元素 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
 測(cè)量元件 熱敏電阻熱敏電阻
 測(cè)量液體溫度 0-100°攝氏度 0-80°攝氏度
 施工 流通池 流通池
 濕件材料 PFA / PFA涂層 PFA
 聯(lián)合 3/4配件(可更換) 3/4配件(可更換)
 耐壓性 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5l / min(推薦) 5l / min(推薦)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 電纜 電纜6m電纜6m
 環(huán)境溫度 5-45°攝氏度 5-45°攝氏度


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