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日本芝浦機(jī)電shibaura活塞泵 PSL，PDL系列 清潔泵無 油，以免污染機(jī)油，并且使用特殊材料清潔泵。　 體積小，重量輕，噪音低 用途廣泛 ? PSL系列可與壓縮機(jī)和真空組合使用。 ? PDL系列兩級(jí)真空泵可獲得更高的真空度。

日本芝浦機(jī)電shibaura羅茨泵 TMB系列 由于使用電機(jī)直接連接型，因此幾乎不會(huì)產(chǎn)生灰塵。 減少振動(dòng)和噪音 易于維護(hù)和檢查的結(jié)構(gòu) 可通過變頻器控制（可選）從大氣壓中抽空

日本芝浦機(jī)電shibaura油擴(kuò)散真空泵ESV系列 該系列使用內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器，以從超高真空區(qū)域到高，中和真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力，并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動(dòng)。 ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排氣量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。另外，可以減少液壓油的量。

日本芝浦機(jī)電shibaura小型擴(kuò)散油真空泵 ESV系列 在該系列中，為了獲得從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域的穩(wěn)定壓力，在超高真空下將環(huán)形加熱器用于ESV-6及以下，將內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動(dòng)。 ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排氣量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。而且，液壓油的量很小。

日本芝浦機(jī)電shibaura金尼型油旋轉(zhuǎn)真空泵 KP系列 與DRP和RP系列相比，它還可用于工業(yè)粗糙應(yīng)用。 由于除了排氣門外沒有使用其他彈簧，因此故障很少，并且結(jié)構(gòu)耐腐蝕。 氣缸和轉(zhuǎn)子的磨損很小，因?yàn)槲⑿〉拈g隙被油密封了。 由于帶有氣鎮(zhèn)閥（蒸汽處理閥），因此對蒸汽和可凝性氣體的排出具有很強(qiáng)的抵抗力。