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環(huán)境溫濕度對(duì)半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的影響

發(fā)布時(shí)間:2025-01-10 點(diǎn)擊量:295

環(huán)境溫濕度對(duì)半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的影響

測(cè)量氣體中的水蒸氣露點(diǎn)溫度的儀器叫做露點(diǎn)儀。露點(diǎn)儀因所使用的冷卻方法和檢測(cè)控制方法不同,可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動(dòng)檢測(cè)露層的平衡式精密露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。

       露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測(cè)作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在

凈化間內(nèi)進(jìn)行的。凈化間規(guī)范往往包括相對(duì)濕度(RH)這一項(xiàng),一年內(nèi)控制點(diǎn)的范圍從35%到65%,精度2%(70℃以下)濕度超標(biāo)會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計(jì)劃的完成。

       

        在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū),濕度不穩(wěn)定,會(huì)出現(xiàn)很多問(wèn)題。最典型的問(wèn)題是烘干期延長(zhǎng),整個(gè)處理過(guò)程變得難以控制。當(dāng)相對(duì)濕度高于35%時(shí),元件易被腐蝕。此外,將顯影液噴在芯片表面時(shí),顯影液迅速揮發(fā),使芯片表面溫度下降,致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會(huì)影響顯影特性,還會(huì)吸收到半導(dǎo)體內(nèi),這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷,還必須增加一些不必要的工藝控制。

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特征

特 點(diǎn) 

全部在TEKHNE工廠校準(zhǔn) 創(chuàng)新的氧化鋁技術(shù) 測(cè)量范圍:-100~+20℃露點(diǎn) 0~2000ppm(選件) 精度:±2℃露點(diǎn) 壓力:10-4Pa~30 MPa TK-100在線式監(jiān)測(cè)儀 TK-100傳感器不包含監(jiān)測(cè)儀 安裝簡(jiǎn)便

簡(jiǎn) 便 

 TEKHNE公司是一家擁有40年露點(diǎn)測(cè)量的日本制 造商,生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測(cè)量方便,帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測(cè)量,你所需要的是100~240VAC電源和樣氣接 口。此外,你也可以選擇TK-100露點(diǎn)傳感器,單獨(dú)使 用4~20mA信號(hào)輸出供電18~28VDC。

高 品 質(zhì)  

TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度, 快速響應(yīng)以及長(zhǎng)期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進(jìn)的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。  此外,先進(jìn)的微處理器技術(shù)實(shí)現(xiàn)全溫度補(bǔ)償,將 處理溫度到露點(diǎn)測(cè)量值的影響最小化。通過(guò)TK-100傳 感器把-80~+20℃露點(diǎn)輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4~20mA輸出。

靈 活 性  

TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點(diǎn)測(cè)量。把傳感器通過(guò)選件取樣座由5/8" UNF或1/8"  NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠(yuǎn)處設(shè)置。  處理線的流量必須設(shè)定為1~10NL/分(帶選件取 樣座)或0.5~10m/秒(不帶選件取樣座)溫度范圍 -20~+60℃,壓力可達(dá)30MPa。建議安裝過(guò)濾器濾去 灰塵。


主要用途

  • 手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制

  • 干燥機(jī)露點(diǎn)檢查

  • 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

  • 潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理

  • 氣體純度控制

  • 天然氣水分管理

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • 有機(jī)EL制造

技術(shù)參數(shù)

TK-100 傳感器 

測(cè)量范圍 -100~+20 ℃

露點(diǎn)  0~2000ppm(選件) 

精度 ±2 ℃露點(diǎn) 

模擬輸出 4~20 mA(三線技術(shù)) 

供電 12~28 VDC 

操作溫度 -20~+60 ℃ 

操作壓力 10-4Pa~30 MPa 13 

TK-100 監(jiān)測(cè)儀 

顯示器 5位數(shù)字LED 

測(cè)量范圍 -100~+20 ℃露點(diǎn) 

輸出 4~20 mA 報(bào)

警繼電器 3個(gè)繼電器觸點(diǎn) 

操作環(huán)境 0~+50 ℃(35~85%RH) 

供電 100~240 VAC, 50/60 Hz 

面板開(kāi)孔 92寬 x 45高 mm

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