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15179100326n-seisen半導(dǎo)體氣體過濾器介紹
NASclean®是由微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結(jié)而成的薄層金屬膜過濾器。 通過從過濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池板等生產(chǎn)過程中使用的氣體的過濾做出貢獻。
這是世界上使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器。
低壓降和高顆粒性能。
適用于100 SLM或更低的流量，可用于各種工藝氣體。
過濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流速下也能實現(xiàn)低壓降。
高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的。
3000牛米3支持高達 /hr 的高流速。
用于保護 MFC、閥門、調(diào)節(jié)器和其他設(shè)備的過濾器。
根據(jù)使用條件，可以選擇低壓型和高壓型。
可與現(xiàn)有管道一起安裝。
集成氣體面板過濾器，兼容 1.125W 密封、1.125C 密封和 1.5W 密封。
通過采用褶皺介質(zhì)實現(xiàn)緊湊的尺寸。
機械密封用于在介質(zhì)部分創(chuàng)建無焊接結(jié)構(gòu)。
褶皺介質(zhì)可實現(xiàn)高速排氣。
防止顆粒纏繞，有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計。
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