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200℃兼容半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17的特點(diǎn)
●高達(dá)200°C的高溫測(cè)量
●在高溫測(cè)量中實(shí)現(xiàn)高精度
●不使用密封液體的安全可靠結(jié)構(gòu)
●與專用放大器 組合使用
●搭載200℃高溫測(cè)量新開發(fā)的壓力傳感器元件，對(duì)應(yīng)200℃測(cè)量
●實(shí)現(xiàn)高精度的高溫測(cè)量溫度特性ZERO：±1.0%F.S.SPAN：±3.0%F.S.（溫度補(bǔ)償范圍15～200℃）
●將測(cè)量氣體的滯留抑制到最小限度，適用于氣體供給系統(tǒng)的焊接結(jié)構(gòu)特殊表面處理技術(shù)
使用溫度范圍
運(yùn)用程序
支持超臨界清洗、氣化裝置等半導(dǎo)體制造工藝的高溫用途
通過適用于半導(dǎo)體氣體供給系統(tǒng)焊接結(jié)構(gòu)和特殊表面處理技術(shù)
將測(cè)定氣體的滯留控制在最小限度。
日本naganokeiki長野計(jì)器半導(dǎo)體行業(yè)高溫壓力傳感器ZT17
