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用于硬涂層膜厚檢測(cè)設(shè)備-反射光譜膜厚計(jì)AFW-100W

發(fā)布時(shí)間:2021-10-12 點(diǎn)擊量:1100

用于硬涂層膜厚檢測(cè)設(shè)備-反射光譜膜厚計(jì)AFW-100W

[機(jī)理] 當(dāng)
樣品受到光照射時(shí),它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過(guò)薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當(dāng)光的相位匹配時(shí),強(qiáng)度增加,而當(dāng)光相移時(shí),強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過(guò)分析該光譜來(lái)測(cè)量薄膜厚度的方法。

[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同,無(wú)需接觸即可進(jìn)行測(cè)量。
- 與橢偏儀相比,便宜且易于使用。

將來(lái)也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。

模型AFW-100W
對(duì)于一般膜厚
設(shè)備配置單元主體、測(cè)量臺(tái)、2 分支光纖 (1.5m)、PC
測(cè)量波長(zhǎng)范圍380-1050nm
膜厚測(cè)量范圍100nm~1μm(曲線(xiàn)擬合法)
1 μm 至 60 μm (FFT)
測(cè)量再現(xiàn)性0.2%-1%(視膠片質(zhì)量而定)
測(cè)量光斑直徑約7mm
光源12V-50W鹵素?zé)?/span>
測(cè)量理論曲線(xiàn)擬合法/FFT法
外形尺寸 (mm)測(cè)量臺(tái):W150 x D150 x H115
機(jī)身:W230 x D230 x H135
大約重量5.5kg * 不包括 PC
公用事業(yè)AC100V 50 / 60Hz
轟天猛將鹵素?zé)?/span>


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