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薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測量?

發(fā)布時(shí)間:2020-11-25 點(diǎn)擊量:1220

薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測量?-日本hrd-thermal熱顯微鏡TM3

用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率

特性

  • 熱物理性質(zhì)顯微鏡是測量熱滲透率的裝置,熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。
  • 它是一種可以通過點(diǎn),線和表面來測量樣品的熱性能的設(shè)備。
  • 也可以測量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
  • 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測量的設(shè)備。
  • 利用檢測到的3μm的光斑直徑,可以在高分辨率的微小區(qū)域中測量熱物理性質(zhì)(點(diǎn)/線/表面測量)。
  • 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
  • 您也可以測量基材上的樣品。
  • 激光非接觸式測量。
  • 可以檢測薄膜下的裂縫,空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。

  1. 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)(熱解法),因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強(qiáng)度的變化,來測量表面的相對(duì)溫度變化。去做。
  2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。

熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

主要規(guī)格

名稱/產(chǎn)品名稱

熱物理顯微鏡/熱顯微鏡

測量方式

熱物理性質(zhì)分布測量(1維,2維,1點(diǎn))

測量項(xiàng)目

熱滲透率,(熱擴(kuò)散率),(熱導(dǎo)率)

檢測光斑直徑

約3μm

1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間

10秒

待測薄膜

厚度從幾百納米到幾十微米

重復(fù)精度

耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10%

樣品

1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi),厚度3mm以內(nèi)

  • 需要對(duì)樣品表面進(jìn)行鏡面拋光。
  • 樣品表面需要進(jìn)行Mo濺射。

工作溫度極限

24°C±1°C(根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器)

平臺(tái)移動(dòng)距離

? X軸方向20mm
? Y軸方向20mm
? Z軸方向10mm

加熱激光

半導(dǎo)體激光波長:808nm

檢測激光

半導(dǎo)體激光波長:658nm

電源

交流100V 1.5kVA

標(biāo)準(zhǔn)配件

樣品架,參考樣品

選項(xiàng)

光學(xué)壓盤,空調(diào),空調(diào)房,飛濺裝置

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